1. Kernproduktpositionierung
UnserProfil-Thermoelementist ein professioneller Mehrpunkt-Temperatursensor, der speziell für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie entwickelt wurde. Es wird direkt in Hochtemperaturöfen (Diffusionsöfen, Oxidationsöfen, Glühöfen) installiert, um die Temperaturverteilung von Siliziumwafern in Echtzeit genau zu messen und zuverlässige thermische Profildaten für die Prozesssteuerung und Qualitätssicherung bereitzustellen.
2. Wichtige Produktvorteile
✅ Hochpräzise-Überwachung des thermischen ProfilsUnterstützt 3–9 Mehrpunkt-Temperaturmessungen und liefert genaue Temperaturdaten über die gesamte Ofenzone, um tote Winkel zu beseitigen und eine gleichmäßige Erwärmung der Siliziumwafer sicherzustellen.
✅ Überlegene Stabilität und HaltbarkeitEs besteht aus hochqualitativen, thermisch stabilen-Materialien und bietet hervorragende Linearität, minimale Messfehler sowie eine hohe Beständigkeit gegen thermische Schocks und elektromagnetische Störungen und erfüllt damit die Produktionsanforderungen für lange -Zyklen.
✅ Sauberes und prozessfreundliches-DesignOptimiert für die saubere Umgebung mit hohen{0}Temperaturen und geringer-Kontamination in Halbleiteröfen und verhindert Partikelverschmutzung und nachteilige Auswirkungen auf Wafer-Herstellungsprozesse.
✅ Hochgradig anpassbar für OfenkompatibilitätAnpassbare Länge, Durchmesser, Mantelmaterial und Installationsmethode der Sonde, um sich perfekt an die räumliche Anordnung und die technischen Spezifikationen verschiedener Ofenmodelle anzupassen.
3. Technische Spezifikationstabelle
| Technische Leistung | Diffusionsofenprofil-Thermoelement | Oxidationsofen-Profil-Thermoelement |
|---|---|---|
| Abschlusstyp | S, R | K, N |
| Draht-/Manteldurchmesser | φ0,35~0,5 mm | φ2~4 mm |
| Betriebstemperaturbereich | 0~1100 Grad | 0~950 Grad |
| Temperaturgenauigkeit | ±1,0 Grad | ±1,5 Grad oder 0,4 % t |
| Mantellänge | Kleiner oder gleich 4000 mm | Kleiner oder gleich 4000 mm |
| Manteldurchmesser | φ12~18 mm | φ14~22 mm |
| Mantelmaterial | Quarz | Edelstahl 310S / 321 |
| Endstruktur messen | Freiliegende Spitze | Isolierte Spitze |
| Anzahl der Messpunkte | 3~6 Punkte | 3~9 Punkte |
| Verbindungstyp | Miniaturstecker | Miniaturstecker |
| Ausgleichskabel | SC-2x0,5FPF | KX(NX)-2x0,5FPF |
| Montagefunktion | Die Mehrpunktmontage ist komplex | Mehrpunkt-Thermoelemente können frei kombiniert werden |
4. Typische Anwendungen
UnserProfil-Thermoelementwird häufig in der hochpräzisen Temperaturüberwachung und -steuerung eingesetzt für:
Halbleiter-Diffusionsöfen
Halbleiter-Oxidationsöfen
Glühöfen
Öfen zur Herstellung von Photovoltaikzellen
Andere Hochtemperatur-Prozessgeräte, die eine Messung des thermischen Profils erfordern
Produktdetails
Unsere Kunden
Einblicke in unser Unternehmen
Einblicke in unsere Produktion
Manuelles Schweißen
Automatisches Schweißen
Isolationsprüfung
Lasermarkierung
Lagerverwaltung
Zusammenbau des Thermoelements
Vakuum-Leckerkennung
Oberflächenpolieren
Qualitätszertifizierungen
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