Halbleiterprofil -Thermoelement

Der Oxidationsdiffusionsofen ist eine wichtige Prozessausrüstung für die Herstellung von PV -Zellen. Es mischt und diffundiert die Spurenmengen von Bor, Phosphor und anderen Elementen auf dem Siliziumwafer bei hohen Temperaturen, um PN -Übergänge vorzubereiten und integrierte Schaltungen daraus zu bestimmen. Es kann auch verwendet werden, um SiOx -Filme auf der Oberfläche des Siliziumgewassers zum Schutz von Waffeln vorzubereiten. Es ist üblich, dass Thermoelemente sowohl die inneren als auch die äußeren Teile des Ofens messen, um die innere Temperatur des Diffusionsofens zu kontrollieren, der den Oxidationsprozess durchführen könnte. Jede angegebene Temperaturzone verfügt über ein äußeres und inneres Thermoelement, um sicherzustellen, dass die Messergebnisse zuverlässig sind. Die Multipoint -Adel -Metall -Quarz -Thermoelemente werden verwendet, um die Wafertemperatur zu messen. Es hat üblicherweise 3 ~ 9 Messpunkte, was die Wafertemperatur genau darstellt.

Zu diesem Zweck haben Duchin proprietäre Techniken und Produkte wie Multipoint-Edelmetall-Quarz-Thermoelement für die Temperaturmessung des gesamten Abschnitts im Diffusionsofen, einer Kalibrierungsvorrichtung für Multi-Punkte-Thermoelen, entwickelt.

Das Produkt verfügt über einige Merkmale zuverlässiger Temperaturmessungen, hoher Genauigkeit, guter Stabilität, schneller thermischer Reaktion, Anti-Interferenz, hoher und niedriger Temperatur-Auswirkungen, langer Lebensdauer und so weiter. Die technischen Parameter des Thermoelements des Halbleiterprofils sind wie folgt:

Handliches Schweißen

Automatisches Schweißen

Isolierungstests

Lasermarkierung

Lagerhaus

Thermoelement Montage

Erkennung von Vakuumlecks

Oberflächenpolieren

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