Der Diffusionsofen, der den Oxidationsprozess durchführen könnte, besteht aus einem Ofenrahmen, einem Heizung, einem Heizsteuergerät, einem Temperaturmessgerät, einem Quarzofenrohr, einem Push-Pull-Trägerfach, etwas Gaspfad und einer Abgasbehandlungsvorrichtung. Die Temperaturkontrollanforderungen dieser Art von Diffusionsöfen sind wie folgt:

Heiztemperaturbereich	Ambient -1100 Grad	Kontrollgenauigkeit	± 2 Grad
Maximale Heizrate	15 Grad /min	Temperatureinheitlichkeit	± 0. 5 Grad /760 mm
Maximale Kühlrate	5 Grad /min	Stabilität	± 0. 5 Grad /24h

Der Oxidationsdiffusionsofen verwendet im Allgemeinen Thermoelemente innerhalb und außerhalb des Ofens, um die Temperatur dynamisch zu steuern. Jede Temperaturzone ist mit einem innen und einem außen ausgestattet, um die Zuverlässigkeit der Temperaturregelung zu gewährleisten. S Typ Semiconductor-Thermoelement (übliche Praxis verwendet Multi-Punkte-Thermoelement, das 3-9 verschiedene Flecken zum Greifen von Temperaturinformationen enthält) wird häufig so ausgewählt, dass es sich um das Innen-Thermoelement handelt, das verwendet wird, um die Temperatur des Siliziumwafers direkt zu erfassen und auf eine präzise Wafer-Temperaturanzeige zu übertragen.

Produktbeschreibung

Duchin Instrument developed types of structures for multi-point thermocouple, multi-point thermocouple calibration equipment for experiments, a type of cold-junction structure formulti-point thermocouple, a type of terminal packaging structure for multi-point thermocouple, types of composite metal protection tube of multi-point thermocouple for oxidation furnace, and other proprietary technologies to meet the requirements of Diffusionsofen -Temperaturerfassung. Die technischen Parameter des S -Typs Semiconductor -Thermoelement für Photovoltaikgeräte sind wie folgt:

Technische Parameter	Interne Thermoelement
Typ	S,R
Draht- oder MIMS -Durchmesser	φ0.35~0.5
Arbeitstemperatur (Abschluss)	0~1100
Genauigkeit (Abschluss)	±1.0
Schutzrohrlänge (mm)	Weniger als oder gleich 4000
Schutzrohrdurchmesser (mm)	φ12~18
Schutzrohrmaterial	Quarz
Heiße Endstruktur	Ausgesetzt
Anzahl der Punkte	3 ~ 6 Punkte
Beendigung	Kleiner Stecker
Kompensationsdraht	Sc {{0}} × 0,5FPF
Struktureigenschaften	T/c in Kombination für jeden Punkt zusammenzubauen ist ziemlich schwierig