Hauptmultipoint -BF -Thermoelement

Der Oxidationsdiffusionsofen ist eine wichtige Prozessausrüstung für die Herstellung von PV -Zellen. Es mischt und diffundiert die Spurenmengen von Bor, Phosphor und anderen Elementen auf dem Siliziumwafer bei hohen Temperaturen, um PN -Übergänge vorzubereiten und integrierte Schaltkreise daraus zu bestimmen.

Produktbeschreibung

Es ist üblich, Thermoelemente zu verwenden, die sowohl die inneren als auch die äußeren Teile des Ofens messen, um die innere Temperatur des Diffusionsofens zu kontrollieren, der den Oxidationsprozess durchführen könnte. Jede angegebene Temperaturzone verfügt über ein äußeres und inneres Thermoelement, um sicherzustellen, dass die Messergebnisse zuverlässig sind. Die inneren Thermoelemente werden verwendet, um die Wafertemperatur zu messen. Sie hat üblicherweise 3 ~ 9 Messpunkte, was die Wafertemperatur genau darstellt. Die äußeren Thermoelemente werden verwendet, um die äußere Oberfläche des Ofenrohrs zu erfassen, jeweils nur ein Paar Drähte, um eine indirekte Messung des Ofens zu ergeben. Normalerweise ist die Temperatur des Oxidationsprozesses niedriger als der Diffusionsprozess. Daher könnte K- und N -Hauptmultipoint -BF -Thermoelement eingesetzt werden.

Technische Parameter	Hauptmultipoint -BF -Thermoelement
Technische Parameter	Innen
Typ	K,N
Draht- oder MIMS -Durchmesser	φ2~4
Arbeitstemperatur (Abschluss)	0~950
Genauigkeit (Abschluss)	± 1,5 oder 0. 4%· t
Schutzrohrlänge (mm)	Weniger als oder gleich 4000
Schutzrohrdurchmesser (mm)	φ14~22
Schutzrohrmaterial	310s oder 321
Heiße Endstruktur	Isoliert
Anzahl der Punkte	3 ~ 9 Punkte
Beendigung	Kleiner Stecker
Kompensationsdraht	Kx (nx) {{0}} × 0,5FPF
Struktureigenschaften	Einfach zu zerstörungen, t/c für einen beliebigen Punkt kann bei Bedarf entfernt werden